Электронный микроскоп (Комплекс электронно-ионной литографии) серии CrossBeam 1540XB
-
Страна:
Германия
-
Производитель:
Zeiss
- Категория:
-
Доступность:
Доступно
- Подразделение:
- Место размещения:
Характеристики
Электронная колонна (FEG) + ионная колонна.
Ускоряющее напряжение: 1-30 кВ.
Детекторы: SE, InLens, EsB.
Электронная/ионная литография: Raith Elphy.
Разрешение: до 1 нм при 30 кВ.
Система GIS: платина, вольфрам, углерод.
Возможности
- Морфология поверхности.
- Толщина покрытия (кроссекшн).
- Размеры частиц/кристаллов.
- Модификация поверхности ионным пучком.
- Электронная/ионная литография с высоким разрешением.