Камера вакуумного напыления MBraun (Evaporaor MBraun)
-
Страна:
Германия
-
Производитель:
MBraun
- Категория:
-
Доступность:
Доступно
- Подразделение:
- Место размещения:
Характеристики
- Интегрирована в систему перчаточного бокса (среда азот)
- Последовательное осаждение
- Однородность до +/-3 % (при определенной геометрии конструкции до +/1 %)
- Размер подложки до 100x100 мм или диам. 100 мм. Либо несколько маленьких подложек.
- Вертикальный столик.
Возможности
Осаждение тонких металлических пленок в условиях вакуума.