Установка для вакуумного напыления PVD-75
-
Страна:
США
-
Производитель:
Kurt J. Lesker
- Категория:
-
Доступность:
Доступно
- Подразделение:
- Место размещения:
Характеристики
Вакуумная камера из нержавеющей стали объемом 75 литров, рассчитанная для работы с уровнем вакуума 10-8 торр.
Криогенный насос обеспечивающий выход на уровень вакуума 5х10-7 торр.
Форвакуумный безмасляный насос со скоростью откачки 13,4 м3/ч.
Термический испаритель.
Электронно-лучевой испаритель (5 кВт).
Два кварцевых окна для проведения оптических измерений и управления процессами осаждения.
Рабочая станция на базе персонального компьютера со специализированным программным обеспечением для управления процессами напыления.
Возможности
Создание поверхностных наноструктур методом осаждения различных тонких пленок (в том числе просветляющих диэлектрических покрытий, электродов и т.д.) из паровой фазы на поверхность диэлектрических материалов в вакууме.
Термический испаритель.
Электронно-лучевой испаритель (5 кВт).