Восстановление вольфрамовых термоэмиссионных катодов для СЭМ/ПЭМ
Описание
Восстановление сгоревших термоэмиссионных вольфрамовых катодов сканирующих/просвечивающих электронных микроскопов (СЭМ/ПЭМ, SEM/TEM).
Процесс восстановления состоит из нескольких этапов:
- керамика катодов очищается от нагара и прочих загрязнений;
- перегоревшая нить удаляется, подготавливается площадка для монтажа новой;
- геометрические параметры и состав проволоки подбираются максимально близкие к заводским;
- монтируется новая нить накала
- готовые катоды отжигаются в вакууме для снятия загрязнений и механических напряжений.
Примеры:
На данный момент отлажена технология изготовления катодов фирм: FEI и Tescan. Восстановление катодов других производителей (JEOL, Hitachi, Zeiss и т.д.) также возможно, но потребуется дополнительное время на отработку методики и изготовление оснастки. Доступны как классические варианты изготовления катодов из чистой вольфрамовой проволоки, так и с добавлением рения и тория (обсуждается отдельно).