Плазменная установка низкого давления Zepto (Plasma Cleaner Zepto)
-
Страна:
Германия
-
Производитель:
Diener electronic GmbH & Co. KG
- Категория:
-
Доступность:
Доступно
- Подразделение:
- Место размещения:
Характеристики
Объем камеры: 1,7–2,6 л
Газовая система: Игольчатые клапаны, ротаметры
Газы: Азот, Кислород
Возможности
- Керамика 60×48 мм: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
- Полупроводниковые пластины до 3″: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
-R&D и исследования.