Перейти к основному содержанию

Ручная зондовая станция MPI TS150

Характеристики

Общий диапазон перемещения 180 x 230 мм
Диапазон точного перемещения 25 x 25 мм
Разрешение точного перемещения< 1,0 мкм при 500 мкм/об
Плоскостность< 10 мкм
Угловое перемещение (стандартное) 360°
Угловое перемещение (точное) ± 5,0°
Угловое разрешение7,5 x 10-3
Диапазон перемещения по оси z 10 мм
Разрешение точного перемещения по оси z < 1,0 мкм (0,04 мил) при 500 мкм/об, с цифровым индикатором


Имеются следующие зонды для подключения к кристаллам: два СВЧ-зонда GSG и GS (есть калибровочный набор), два оптических зонда для подвода многомодового и одномодового волокна, стандартные иголки

Возможности

  • Надежность полупроводниковой пластины
  • Анализ отказов
  • Проектирование интегральных микросхем
  • Микроэлектромеханические системы (МЭМС)

Выполненные проекты: