Сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения Merlin

Zeiss Merlin  - сканирующий электронный микроскоп с полевым эмиссионным катодом. 

Предельное пространственное разрешение 0,8нм при 15 кВ.

Регулировка токов пучка от 10пA до 300нA  при стабильности тока пучка менее 0,2% / час.

Детекторы:

Внутрилинзовый детектор вторичных электронов (In-lens SE).

Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (SE2).

Детектор обратно-рассеянных электронов с фильтрацией по энергиям (EsB).

Четырехквадрантный детектор обратно-рассеянных электронов (AsB).

Пятисегментный детектор для регистрации пропускания / поглощения электронов тонкими образцами (STEM).

Детектор рентгеновского излучения для микроанализа (EDX).