Ручная зондовая станция MPI TS150
-
Страна:
Тайвань
-
Производитель:
MPI Corporation
- Категория:
-
Доступность:
Доступно
- Подразделение:
- Место размещения:
Характеристики
Общий диапазон перемещения | 180 x 230 мм |
Диапазон точного перемещения | 25 x 25 мм |
Разрешение точного перемещения | < 1,0 мкм при 500 мкм/об |
Плоскостность | < 10 мкм |
Угловое перемещение (стандартное) | 360° |
Угловое перемещение (точное) | ± 5,0° |
Угловое разрешение | 7,5 x 10-3 |
Диапазон перемещения по оси z | 10 мм |
Разрешение точного перемещения по оси z | < 1,0 мкм (0,04 мил) при 500 мкм/об, с цифровым индикатором |
Имеются следующие зонды для подключения к кристаллам: два СВЧ-зонда GSG и GS (есть калибровочный набор), два оптических зонда для подвода многомодового и одномодового волокна, стандартные иголки
Возможности
- Надежность полупроводниковой пластины
- Анализ отказов
- Проектирование интегральных микросхем
- Микроэлектромеханические системы (МЭМС)