Исследование толщины тонких пленок методами атомно-силовой микроскопии
Описание
Атомно-силовой микроскоп позволяет оценить с высокой точностью высоту толщину тонкой пленки, нанесенной на плоскую поверхность. Для метода требуется ступенька из пленки на образце (полученная в процессе нанесения пленки или путём удаления части пленки после (царапина на образце)). В отдельных случаях возможно измерение толщин пленок в многослойных структурах.
Примеры:
- Измерение толщины тонкой пленки золота, нанесенной магнетронным распылением
- Оценка толщины пленки полимера, нанесенной при помощи спин-коатера
- Определение толщины каждой из пленок в двухслойной структуре
Подразделение:
Оборудование:
Требования к образцам:
- Линейные размеры образца (вместе с подложкой) не должны превышать 30 мм в плоскости измерения и 10 мм в высоту.
- Исследуемая поверхность образца должна быть очищена от загрязнений (пыль, жир, масло) и защитных покрытий (лак, краска).
- Образец должен быть прочно закреплен на плоской подложке или иметь плоскую нижнюю границу.
- Перепад высот на исследуемой части объекта не должен превышать 15 мкм.
Стоимость:
5000.00 руб./образец*
*Стоимость рассчитана на 1 стандартный образец и может быть изменена в зависимости от сложности задачи.